1 總 則
1.0.1 為了在電子工廠特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施設(shè)計(jì)、施工與驗(yàn)收、運(yùn)行與維護(hù)、廢棄與拆除工程中保障人身健康和生命財(cái)產(chǎn)安全、生態(tài)環(huán)境安全，滿足經(jīng)濟(jì)社會(huì)管理的基本要求，依據(jù)有關(guān)法律、法規(guī)、技術(shù)措施制定本規(guī)范。
1.0.2 電子工廠新建、擴(kuò)建和改建的特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施設(shè)計(jì)、施工與驗(yàn)收、運(yùn)行與維護(hù)、廢棄與拆除工程必須遵守本規(guī)范。
1.0.3 當(dāng)電子工廠特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施在設(shè)計(jì)、施工與驗(yàn)收、運(yùn)行與維護(hù)、廢棄與拆除工程中采用的技術(shù)措施與本規(guī)范的規(guī)定不一致，經(jīng)合規(guī)性評(píng)估符合本規(guī)范的基本規(guī)定時(shí)，應(yīng)允許使用。
1.0.4 工程建設(shè)所采用的技術(shù)方法和措施是否符合本規(guī)范要求，由相關(guān)責(zé)任主體判定。其中，創(chuàng)新性的技術(shù)方法和措施應(yīng)進(jìn)行論證并符合本規(guī)范中有關(guān)性能的要求。
2 基本規(guī)定
2.0.1 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施設(shè)計(jì)、施工與驗(yàn)收、運(yùn)行與維護(hù)、廢棄與拆除時(shí)，應(yīng)建立系統(tǒng)的安全評(píng)估和風(fēng)險(xiǎn)管理制度，消除安全事故隱患。
2.0.2 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施設(shè)計(jì)、施工與驗(yàn)收、運(yùn)行與維護(hù)、廢棄與拆除中涉及的壓力容器、壓力管道等特種設(shè)備應(yīng)符合國(guó)家有關(guān)特種設(shè)備監(jiān)察管理規(guī)定。
2.0.3 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施應(yīng)進(jìn)行重大危險(xiǎn)源辨識(shí)，危險(xiǎn)化學(xué)品重大危險(xiǎn)源設(shè)計(jì)、施工與驗(yàn)收、運(yùn)行與維護(hù)應(yīng)符合國(guó)家有關(guān)重大危險(xiǎn)源安全監(jiān)管的規(guī)定。
2.0.4 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施達(dá)到設(shè)備的使用年限或遭遇重大事故后，應(yīng)進(jìn)行系統(tǒng)安全及其功能、性能的驗(yàn)證與評(píng)估，合格后方能繼續(xù)使用。
2.0.5 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施設(shè)計(jì)、施工與驗(yàn)收、運(yùn)行與維護(hù)、廢棄與拆除工程應(yīng)采取技術(shù)措施減少污染，對(duì)產(chǎn)生環(huán)境污染的廢氣、廢水、固體廢物進(jìn)行處理。
2.0.6 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施的設(shè)備和管道應(yīng)設(shè)置專(zhuān)用標(biāo)識(shí)，供應(yīng)站房應(yīng)設(shè)置安全警示標(biāo)識(shí)。
2.0.7 電子工廠涉及的劇毒化學(xué)品、易制爆化學(xué)品、易制毒化學(xué)品配送設(shè)施的設(shè)計(jì)、施工與驗(yàn)收、運(yùn)行與維護(hù)、廢棄與拆除應(yīng)符合國(guó)家管理的規(guī)定。
2.0.8 特種氣體和化學(xué)品的管道穿過(guò)防火墻或防火隔墻時(shí)，應(yīng)進(jìn)行防火封堵。
2.0.9 特種氣體和化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)備、管道、管件應(yīng)選擇與介質(zhì)特性相容的材料，并根據(jù)介質(zhì)特性和工藝要求對(duì)介質(zhì)接觸面進(jìn)行處理。
2.0.10 對(duì)于物理化學(xué)性質(zhì)易受溫度影響的特種氣體和化學(xué)品，應(yīng)采取措施對(duì)其環(huán)境、配送設(shè)施進(jìn)行溫度控制。
3 特種氣體配送設(shè)施設(shè)計(jì)
3.1 特種氣體站房
3.1.1 特種氣體應(yīng)按照物理化學(xué)特性分類(lèi)存放，特種氣體間設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 特種氣體間應(yīng)設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)；
2 特種氣體間與相鄰房間防火隔墻的耐火極限不應(yīng)小于2.00h；
3 易燃特種氣體間應(yīng)進(jìn)行防爆設(shè)計(jì)。
3.1.2 大宗硅烷系統(tǒng)氣體設(shè)備應(yīng)布置在獨(dú)立的開(kāi)敞式建筑內(nèi)，建筑外墻面的遮擋部分不得大于三面。
3.1.3 硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及大宗容器與工藝氣體盤(pán)之間的距離小于9m時(shí)，應(yīng)設(shè)置耐火極限2.00h以上的隔斷。隔斷的高度和長(zhǎng)度應(yīng)大于硅烷容器尺寸800mm。
3.1.4 劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)配置專(zhuān)用容器或應(yīng)急工具，排風(fēng)裝置和劇毒性特種氣體在事故狀態(tài)下的排風(fēng)處理裝置。
3.1.5 劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)設(shè)置雙鎖安全門(mén)、防盜窗和防止人員入侵的安全防范設(shè)施。
3.1.6 自燃性液態(tài)特種氣體配送設(shè)施應(yīng)設(shè)置事故處理裝置，處理裝置應(yīng)具備應(yīng)急狀況處理能力。
3.2 特種氣體工藝及管道系統(tǒng)
3.2.1 不相容特種氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中。
3.2.2 液態(tài)氣體鋼瓶加熱應(yīng)配置溫控系統(tǒng)，鋼瓶表面溫度應(yīng)滿足安全要求。
3.2.3 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)氣瓶柜的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接，并設(shè)置止回閥，不相容性特種氣體系統(tǒng)吹掃氮?dú)獠坏霉灿猛坏獨(dú)庠?，吹掃氣體管線應(yīng)設(shè)置止回閥。
3.2.4 不相容特種氣體排氣管道不得接入同一排氣系統(tǒng)。
3.2.5 硅烷鋼瓶側(cè)連接管道應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥，硅烷站安全出口應(yīng)設(shè)置手動(dòng)緊急切斷按鈕。至少有一個(gè)手動(dòng)緊急切斷按鈕與輸送裝置的距離不應(yīng)小于4.6m。
3.2.6 生產(chǎn)廠房潔凈室內(nèi)的自燃性、易燃性和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷，并應(yīng)采用焊接。
3.3 特種氣體監(jiān)控與安全系統(tǒng)
3.3.1 使用多種特種氣體的生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)特種氣體管理系統(tǒng)，系統(tǒng)應(yīng)實(shí)現(xiàn)特種氣體連續(xù)檢測(cè)、指示、報(bào)警功能，并應(yīng)能夠記錄、存儲(chǔ)。
3.3.2 儲(chǔ)存、輸送、使用自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體的配送設(shè)備間，氣瓶柜和閥門(mén)箱、生產(chǎn)工藝設(shè)備、就地廢氣處理裝置排風(fēng)出口管處應(yīng)設(shè)置特種氣體泄漏探測(cè)裝置。
3.3.3 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體檢測(cè)裝置報(bào)警設(shè)定值應(yīng)符合下列規(guī)定：
自燃性、易燃性氣體應(yīng)使用易燃性氣體爆炸濃度下限值（LEL）的不同比例設(shè)置一級(jí)和二級(jí)報(bào)警設(shè)定值；劇毒性、毒性氣體應(yīng)使用有害物質(zhì)的最高允許濃度值-時(shí)間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)的不同比例設(shè)置一級(jí)和二級(jí)報(bào)警設(shè)定值。
3.3.4 硅烷排風(fēng)管道的氣體泄漏探測(cè)器的報(bào)警設(shè)定值，應(yīng)等于或小于50ppm，并與硅烷氣源的自動(dòng)切斷閥連鎖。硅烷站的環(huán)境氣體探測(cè)裝置的報(bào)警設(shè)定值應(yīng)小于或等于5ppm，環(huán)境氣體探測(cè)器報(bào)警時(shí)，硅烷控制系統(tǒng)不應(yīng)自動(dòng)切斷硅烷輸送管路。
3.3.5 室外大宗硅烷系統(tǒng)鋼瓶區(qū)域內(nèi)應(yīng)設(shè)置紫外和紅外火焰探測(cè)器；室內(nèi)硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用火焰探測(cè)器或感溫探測(cè)器。
3.3.6 自燃性液態(tài)特種氣體配送設(shè)施應(yīng)設(shè)置漏液探測(cè)器和火焰探測(cè)器，并在發(fā)生泄漏時(shí)，發(fā)出聲光報(bào)警并聯(lián)動(dòng)切斷供應(yīng)。
4 化學(xué)品配送設(shè)施設(shè)計(jì)
4.1 化學(xué)品站房
4.1.1 化學(xué)品卸貨區(qū)應(yīng)設(shè)置漏液收集溝，收集溝聯(lián)通的廢液收集池應(yīng)不小于單一化學(xué)品裝卸槽車(chē)的容積。
4.1.2 化學(xué)品液體儲(chǔ)罐區(qū)域應(yīng)設(shè)置溢出保護(hù)設(shè)施，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 有機(jī)溶劑、氧化性化學(xué)品儲(chǔ)罐應(yīng)設(shè)置防火堤，防火堤有效容積應(yīng)大于堤內(nèi)最大儲(chǔ)罐容積；
2 酸堿類(lèi)化學(xué)品、腐蝕性化學(xué)品液體儲(chǔ)罐應(yīng)設(shè)置防護(hù)堤，防護(hù)堤有效容積應(yīng)大于堤內(nèi)最大儲(chǔ)罐容積；
3 防火堤及防護(hù)堤應(yīng)承受容納液體的靜壓，臥式儲(chǔ)罐防火堤的高度，不應(yīng)低于500mm，隔堤高度應(yīng)比防火堤低200mm，并應(yīng)在防火堤、防護(hù)堤適當(dāng)位置設(shè)置人員進(jìn)出的踏步。
4.1.3 化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間應(yīng)設(shè)置泄漏廢液收集溝，溝內(nèi)應(yīng)設(shè)置廢液收集坑，不同性質(zhì)的化學(xué)品泄漏廢液收集溝不應(yīng)聯(lián)通。有機(jī)溶劑間的地溝應(yīng)采取防止可燃?xì)怏w積聚的措施。
4.2 化學(xué)品供應(yīng)與回收系統(tǒng)
4.2.1 化學(xué)品配送設(shè)施應(yīng)設(shè)有危險(xiǎn)警示標(biāo)識(shí)及安全操作手冊(cè)。
4.2.2 酸堿類(lèi)化學(xué)品、腐蝕性有機(jī)溶劑應(yīng)設(shè)置雙套管。
4.2.3 化學(xué)品回收系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)工藝排放物性質(zhì)確定，嚴(yán)禁將發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的兩種或多種物質(zhì)合并一個(gè)系統(tǒng)回收。
4.2.4 有機(jī)溶劑與酸堿化學(xué)品回收系統(tǒng)應(yīng)布置在不同房間。
4.3 化學(xué)品監(jiān)控與安全系統(tǒng)
4.3.1 儲(chǔ)存、輸送、使用化學(xué)品的供應(yīng)設(shè)備、閥門(mén)箱、化學(xué)品儲(chǔ)罐防護(hù)堤、工藝設(shè)備區(qū)域應(yīng)設(shè)置漏液或氣體探測(cè)器，并在泄漏時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警。
4.3.2 易揮發(fā)易燃化學(xué)品應(yīng)使用易燃?xì)怏w的爆炸濃度下限值（LEL）的不同比例設(shè)置一級(jí)和二級(jí)報(bào)警設(shè)定值；易揮發(fā)有毒化學(xué)品應(yīng)使用空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值-時(shí)間加權(quán)平均容許濃度（TLV-TWA）的不同比例設(shè)置一級(jí)和二級(jí)報(bào)警設(shè)定值。
4.3.3 化學(xué)品無(wú)相對(duì)應(yīng)泄漏探測(cè)器時(shí)，應(yīng)設(shè)置該化學(xué)品的反應(yīng)產(chǎn)物泄漏探測(cè)器對(duì)其進(jìn)行探測(cè)。
5 配套設(shè)施設(shè)計(jì)
5.1 建筑與結(jié)構(gòu)
5.1.1 有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體和有機(jī)溶劑房間應(yīng)設(shè)置泄壓設(shè)施，其泄壓方向不得朝向人員密集的場(chǎng)所。
5.1.2 易燃特種氣體和有機(jī)溶劑的房間應(yīng)采用不發(fā)火花的樓地面。采用絕緣材料作整體面層時(shí)，應(yīng)采取防靜電措施。
5.1.3 布置于生產(chǎn)廠房的甲、乙類(lèi)特種氣體和化學(xué)品間耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
5.1.4 有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體和有機(jī)溶劑房間與相臨區(qū)域連通處，應(yīng)設(shè)置門(mén)斗等防護(hù)措施。門(mén)斗隔墻耐火極限不低于3.0小時(shí)，門(mén)應(yīng)采用甲級(jí)防火門(mén)并錯(cuò)位布置。
5.2 給排水與消防
5.2.1 毒性、劇毒性、腐蝕性特種氣體間、化學(xué)品間應(yīng)設(shè)置緊急沖身洗眼器。
5.2.2 與水發(fā)生劇烈反應(yīng)的特種氣體和化學(xué)品房間嚴(yán)禁采用水消防系統(tǒng)進(jìn)行滅火。
5.2.3 硅烷站消防系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 發(fā)生硅烷火災(zāi)時(shí)，應(yīng)緊急切斷硅烷氣源;
2 發(fā)生硅烷火災(zāi)時(shí)，應(yīng)使用水對(duì)鋼瓶、儲(chǔ)罐等進(jìn)行冷卻；
3 不應(yīng)使用鹵代烷類(lèi)及二氧化碳滅火器。
5.2.4 存放、輸送易燃性、自燃性特種氣體和有機(jī)溶劑柜體應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火設(shè)施。
5.3 采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)
5.3.1 特種氣體站房、化學(xué)品站房應(yīng)設(shè)置連續(xù)機(jī)械通風(fēng)，通風(fēng)換氣率應(yīng)不應(yīng)低于18m3/（h•m2）。
5.3.2 特種氣體氣瓶柜、特種氣體閥門(mén)箱、化學(xué)品供應(yīng)單元、化學(xué)品閥門(mén)箱應(yīng)設(shè)置連續(xù)機(jī)械排風(fēng)裝置。
5.3.3 甲、乙類(lèi)火災(zāi)危險(xiǎn)性和毒性、腐蝕性、氧化性特種氣體和化學(xué)品房間內(nèi)的空氣不得循環(huán)使用。
5.3.4 特種氣體、化學(xué)品配送設(shè)施及站房排風(fēng)管道及空調(diào)風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，保溫應(yīng)采用不燃或難燃材料。
5.3.5 特種氣體和化學(xué)品站房排風(fēng)系統(tǒng)不得與火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)連動(dòng)控制；火災(zāi)發(fā)生時(shí)，嚴(yán)禁關(guān)閉排風(fēng)系統(tǒng)。
5.4 電氣與防雷
5.4.1 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施電力負(fù)荷等級(jí)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 為特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施服務(wù)的站房除檢修插座電源外應(yīng)與主廠房最高負(fù)荷等級(jí)相同，且不應(yīng)低于二級(jí)負(fù)荷；
2 特種氣體和化學(xué)品控制管理系統(tǒng)以及探測(cè)系統(tǒng)應(yīng)配置UPS不間斷電源。
5.4.2 架空敷設(shè)的特種氣體和有機(jī)溶劑金屬管道，在進(jìn)出建筑物處應(yīng)與防雷電感應(yīng)接地裝置相連。
5.4.3易燃性和氧化性特種氣體和有機(jī)溶劑的配送設(shè)備與管道應(yīng)采取防靜電接地措施，防靜電接地為單獨(dú)接地時(shí)每組接地電阻應(yīng)小于100Ω。
6 施工與驗(yàn)收
6.1 一般規(guī)定
6.1.1 特種氣體和化學(xué)品系統(tǒng)工程應(yīng)編制專(zhuān)項(xiàng)施工方案。
6.1.2 特種氣體和化學(xué)品系統(tǒng)不銹鋼工藝管道應(yīng)采用全自動(dòng)軌道焊機(jī)焊接。
6.1.3 特種氣體和化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)備及材料進(jìn)場(chǎng)檢驗(yàn)應(yīng)提供產(chǎn)品合格證和質(zhì)量保證書(shū)，以及安裝、使用、維護(hù)和試驗(yàn)要求的技術(shù)手冊(cè)。
6.1.4 特種氣體和化學(xué)品系統(tǒng)驗(yàn)收前必須完成管道和設(shè)備標(biāo)識(shí)。
6.1.5 輸送劇毒、毒性以及易燃性介質(zhì)的管道，應(yīng)進(jìn)行泄漏性試驗(yàn)，泄漏性試驗(yàn)應(yīng)符合設(shè)計(jì)文件的規(guī)定。
6.2 特種氣體配送設(shè)施施工與驗(yàn)收
6.2.1 特種氣體管道面密封接頭的密封墊片應(yīng)選擇與氣體特性兼容材料。使用過(guò)的墊片嚴(yán)禁再次使用，嚴(yán)禁在同一密封面上使用兩個(gè)及以上的墊片，嚴(yán)禁將墊片及面密封部件端面劃傷。
6.2.2 特種氣體管道焊接前應(yīng)進(jìn)行焊接工藝評(píng)定、繪制系統(tǒng)的單線圖并編制焊接作業(yè)指導(dǎo)書(shū)。焊接過(guò)程應(yīng)做好記錄并不得中斷保護(hù)氣體，焊縫應(yīng)檢查合格。
6.2.3 特種氣體管道改建、擴(kuò)建工程施工前應(yīng)將管道內(nèi)特種氣體用氮?dú)庵脫Q盡，且應(yīng)將管道系統(tǒng)抽真空處理, 被置換出的氣體應(yīng)經(jīng)過(guò)尾氣處理裝置進(jìn)行處理,達(dá)標(biāo)后排放。
6.3 化學(xué)品配送設(shè)施施工與驗(yàn)收
6.3.1 PVC外套管采用熱煨彎工法時(shí)應(yīng)使用專(zhuān)用工具，管道不得產(chǎn)生不規(guī)則變形，外套管施工完成后應(yīng)進(jìn)行壓力試驗(yàn)。
6.3.2 PFA軟管內(nèi)管應(yīng)采用整根管道貫穿外套管，中間不得有接頭。
7 運(yùn)行與維護(hù)
7.1 一般規(guī)定
7.1.1 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施應(yīng)配置特種氣體和化學(xué)品專(zhuān)業(yè)人員或委托具有相應(yīng)專(zhuān)業(yè)能力的企業(yè)進(jìn)行運(yùn)行與維護(hù)。
7.1.2 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施應(yīng)建立運(yùn)行與維護(hù)管理制度和操作規(guī)程。
7.1.3 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施應(yīng)建立、健全職業(yè)衛(wèi)生管理制度。
7.2 運(yùn)行安全
7.2.1 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施試車(chē)前,供應(yīng)系統(tǒng)和泄漏探測(cè)設(shè)
施應(yīng)調(diào)試、測(cè)試合格，同時(shí)應(yīng)制定試車(chē)方案及應(yīng)急預(yù)案。
7.2.2 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施監(jiān)控中心應(yīng)安排人員24.00h值
班，并做好交接班記錄。
7.2.3 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施應(yīng)開(kāi)展日常定期點(diǎn)檢和非定期點(diǎn)檢，并明確定期點(diǎn)檢和非定期點(diǎn)檢內(nèi)容，保存記錄并對(duì)問(wèn)題進(jìn)行處理。
7.2.4 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施應(yīng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行編號(hào)，建立設(shè)備臺(tái)賬、技術(shù)檔案和備品配件管理制度，編制設(shè)備操作和維護(hù)規(guī)程，及時(shí)
處理故障。
7.2.5 特種氣體和化學(xué)品設(shè)施應(yīng)定期開(kāi)展隱患排查，根據(jù)隱患的嚴(yán)重程度進(jìn)行分類(lèi)處理。
7.2.6 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施的變更與改造應(yīng)進(jìn)行可行性研評(píng)估，制定設(shè)計(jì)和施工方案。
7.2.7 特種氣體和化學(xué)品應(yīng)編制事故應(yīng)急預(yù)案，配備應(yīng)急救援人員和應(yīng)急救援器材，并定期進(jìn)行應(yīng)急演習(xí)。
8
廢棄與拆除
8.0.1 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施廢棄與拆除應(yīng)進(jìn)行技術(shù)和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估，制定完善的施工方案與廢棄物處理方案。
8.0.2 待拆除系統(tǒng)應(yīng)采取隔離措施，拆除作業(yè)不得影響其他設(shè)備的正常運(yùn)行，做好保護(hù)措施。
8.0.3 拆除作業(yè)活動(dòng)監(jiān)護(hù)人員應(yīng)具備基本救護(hù)技能和作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)急處理能力，發(fā)生異常情況，需立即停止拆除作業(yè)，啟動(dòng)應(yīng)急處置流程。
8.0.4 拆除人員應(yīng)配備個(gè)人防護(hù)器具。拆除作業(yè)中一旦發(fā)生火災(zāi)、危險(xiǎn)物質(zhì)泄漏等事故，必須服從統(tǒng)一指揮，按逃生路線依次撤離。
8.0.5 特種氣體和化學(xué)品配送設(shè)施拆除過(guò)程應(yīng)保證施工現(xiàn)場(chǎng)空氣流通，密閉環(huán)境下拆除應(yīng)設(shè)置通風(fēng)設(shè)施。
8.0.6 特種氣體配送設(shè)施拆除前應(yīng)確認(rèn)特種氣體氣源已經(jīng)移除。
8.0.7 特種氣體配送設(shè)施拆除前應(yīng)使用氮?dú)饣蚱渌栊詺怏w吹掃干凈，經(jīng)分析、檢驗(yàn)合格后方可進(jìn)行拆除。
8.0.8 化學(xué)品配送設(shè)施拆除前應(yīng)排空并沖洗干凈，經(jīng)分析、檢驗(yàn)合格后方可進(jìn)行拆除。
8.0.9 閃點(diǎn)低于環(huán)境溫度的有機(jī)溶劑配送設(shè)施在拆除前應(yīng)使用氮?dú)饣蚱渌栊詺怏w吹掃干凈，經(jīng)分析、檢驗(yàn)合格后方可進(jìn)行拆除。
